单晶式多晶体纳米金刚石薄膜的电子特性

朱泓达

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单晶式多晶体纳米金刚石薄膜的电子特性

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在人工合成金刚石技术日益成熟的背景下,纳米级的金刚石颗粒因其优越的性能,在工业、医学、半导体等领域得到了广泛应用.金刚石薄膜是一种常见的人工合成材料,既保留了金刚石的硬度,同时还具有良好的导热性、化学稳定性、光学透明性,在半导体材料、航空航天工业、大规模集成电路等方面应用前景广阔.本文以纳米金刚石薄膜的电子特性作为切入点,着重分析了不同晶粒尺寸下,分别加入了Si、P和B元素后薄膜的电子特性,为纳米金刚石薄膜的研发和应用提供了一定的参考.

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来源
《黑龙江科技信息》 |2021年第30期|42-44|共3页
作者
朱泓达;
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作者单位

伦敦大学学院伦敦 WC1H0AQ;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类人造宝石、合成宝石的生产;
关键词
纳米金刚石膜; 费米能级; 电子特性; 带隙宽度;

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