双壳层靶丸金属层电沉积装置设计

张云望; 卢春林; 尹强; 张林; 唐道润

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双壳层靶丸金属层电沉积装置设计

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设计了一种新型双壳层靶丸金属层电沉积装置,借助计算机模拟了其设计原理,分析了微球的运动及镀层的生长模式,介绍了其各部分结构和功能.借助理论计算,确定了镀槽的整体尺寸,其中槽体半径确定为5 cm.镀槽的特殊结构使微球上部镀层沉积速度较快,结合小球的自转及围绕圆柱体的公转运动实现镀层均匀沉积.镀液及微球的运动模式使镀液流速合并了主盐浓度、小球平动速度、小球转动速度三个关键参数,简化了对沉积过程的控制.在新旧装置上进行了电沉积实验,制备出了镀层厚度分别为9 μm和2 μm的空心金微球,结果表明:使用设计的装置可制备表面质量良好、厚度均匀且可控的金属微球,镀层厚度由沉积时间、金属层密度、镀液比重、微球芯轴的等效密度等决定.

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来源
《强激光与粒子束》 |2015年第3期|239-243|共5页
作者
张云望; 卢春林; 尹强; 张林; 唐道润;
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作者单位

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;

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正文语种 chi
中图分类阴极过程;
关键词
双壳层靶; 电沉积; 装置设计;

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