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激光加速实验超薄类金刚石碳靶的制备

         

摘要

采用过滤阴极真空弧法,制备了满足激光稳相加速机制要求的超薄自支撑类金刚石碳靶.室温下沉积,基片偏压为-32 V,薄膜沉积速率约为每脉冲0.002 nm.选取NaCl膜作脱膜剂,采用漂浮法进行脱膜.打捞板孔径为1 mm时,自支撑厚度范围为5~50 nm,自支撑成功率约为70%.利用拉曼光谱仪及原子力显微镜等仪器,测量了薄膜的结构、表面粗糙度等关键参数.

著录项

  • 来源
    《强激光与粒子束》 |2013年第7期|1723-1726|共4页
  • 作者单位

    北京大学核物理与核技术国家重点实验室,北京100871;

    北京大学核物理与核技术国家重点实验室,北京100871;

    北京大学核物理与核技术国家重点实验室,北京100871;

    北京大学核物理与核技术国家重点实验室,北京100871;

    北京大学核物理与核技术国家重点实验室,北京100871;

    北京大学核物理与核技术国家重点实验室,北京100871;

    北京大学核物理与核技术国家重点实验室,北京100871;

    北京大学核物理与核技术国家重点实验室,北京100871;

    北京大学核物理与核技术国家重点实验室,北京100871;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜测量与分析;
  • 关键词

    过滤阴极真空弧; 激光稳相加速; 自支撑; 类金刚石膜;

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