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等离子体诊断用Schwarzschild显微镜的光学设计

         

摘要

基于三级像差理论设计了用于激光等离子体诊断的极紫外Schwarzschild显微镜光学系统.显微镜的工作波长为18.2 nm,数值孔径为0.1,放大倍数为10.光学设计得到中心视场空间分辨力达0.3μm,±1 mm视场内分辨力约0.4μm的结果.分析了Schwarzschild成像系统的物镜装配、系统装调及光学元件加工误差对像质的影响,结果显示光学元件局部面形误差是影响系统成像分辨力的主要因素.通过提高系统装调的精度,可以有效补偿像距误差、两镜间距误差及曲率半径误差对像质的影响.综合考虑实际加工和装调能力,制定了系统整体公差方案,考虑公差后光学系统能够在±1 mm视场内获得3μm的空间分辨力,达到了等离子体诊断的要求.

著录项

  • 来源
    《强激光与粒子束》 |2011年第2期|397-402|共6页
  • 作者单位

    同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

    上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海,200092;

    同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

    上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海,200092;

    同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

    上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海,200092;

    同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

    上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海,200092;

    同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

    上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海,200092;

    同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

    上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海,200092;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 X射线;
  • 关键词

    Schwarzschild显微镜; 空间分辨力; 视场; 公差;

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