低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术

著录项

• 来源
  《强激光与粒子束》 |2010年第9期|2181-2185|共5页
• 作者

  马彬; 沈正祥; 张众; 贺鹏飞; 季一勤; 刘华松; 刘丹丹; 王占山;

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• 作者单位

  同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

  同济大学,航空航天与力学学院,上海,200092;

  天津津航技术物理研究所,天津市薄膜光学重点实验室,天津,300192;

  同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

  天津津航技术物理研究所,天津市薄膜光学重点实验室,天津,300192;

  同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

  同济大学,航空航天与力学学院,上海,200092;

  天津津航技术物理研究所,天津市薄膜光学重点实验室,天津,300192;

  同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

  天津津航技术物理研究所,天津市薄膜光学重点实验室,天津,300192;

  天津津航技术物理研究所,天津市薄膜光学重点实验室,天津,300192;

  同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 激光材料及工作物质;
• 关键词

  亚表面损伤层; 共焦显微成像; 光散射; 化学腐蚀; 刻蚀速率;