LaB6场发射阵列牺牲层制备工艺

代令; 祁康成; 林祖伦; 陈文彬; 李东方

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LaB6场发射阵列牺牲层制备工艺

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分析了传统牺牲层材料铝在制备LaB6场发射阵列时存在的问题,利用溅射及热蒸发工艺依次制备铝膜和氧化锌膜,制备出了一种新型的牺牲层--ZnO-Al复合牺牲层,并对所制备的阵列进行了测试.实验结果表明:ZnO-Al复合牺牲层能够有效地解决电化学腐蚀的问题,所制备出的LaB6场发射阵列尖锥保持了完好的形貌,其发射特性也达到了最初制备场发射阵列的要求,说明ZnO-Al复合牺牲层是作为LaB6场发射阵列牺牲层的理想材料.

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来源
《强激光与粒子束》 |2009年第6期|923-926|共4页
作者
代令; 祁康成; 林祖伦; 陈文彬; 李东方;
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作者单位

电子科技大学,光电信息学院,成都,610054;

电子科技大学,光电信息学院,成都,610054;

电子科技大学,光电信息学院,成都,610054;

电子科技大学,光电信息学院,成都,610054;

电子科技大学,光电信息学院,成都,610054;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电真空器件制造工艺;
关键词
六硼化镧; 场发射; 牺牲层; 溅射; ZnO-Al;

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