衬底温度对类金刚石薄膜力学性能的影响

著录项

• 来源
  《强激光与粒子束》 |2008年第5期|769-773|共5页
• 作者

  吴卫东; 王锋; 李俊; 李盛印; 曹林洪; 葛芳芳; 巨新; 唐永建; 孙卫国;

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• 作者单位

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  四川大学,原子与分子物理研究所,成都,610065;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  四川大学,原子与分子物理研究所,成都,610065;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  同济大学,物理系,上海,200092;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  南京大学,物理系,南京,210093;

  中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  四川大学,原子与分子物理研究所,成都,610065;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜中的力学效应;
• 关键词

  脉冲激光沉积; 类金刚石薄膜; 衬底温度; 硬度; 弹性模量; 摩擦系数; 磨损率;