短脉冲激光刻蚀加工铜材料的机制

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• 来源
  《强激光与粒子束》 |2007年第8期|1271-1274|共4页
• 作者

  刘院省; 刘世炳; 陈涛;

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• 作者单位

  北京工业大学,激光工程研究院,北京,100022;

  北京工业大学,激光工程研究院,北京,100022;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 约束与加热;激光的应用;
• 关键词

  皮秒脉冲激光; 铜靶; 平衡刻蚀; 数值模拟;