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面向激光刻蚀加工的图形分割方法、激光刻蚀控制系统

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本发明属于激光刻蚀技术领域，公开了一种面向激光刻蚀加工的图形分割方法、激光刻蚀控制系统，计算贴图点位法向量；二维矢量贴图缠绕于三维网格模型表面，计算每一个二维矢量贴图的变换矩阵，基于几何变换的原理将贴图缠绕于三维网格模型表面；扫描振镜的扫描范围与最大焦深确定搜索范围，获取每个加工区域关联的贴图图案；对于一个加工区域，根据中心点的位置，确定分割平面，将加工区域边界线与关联图案投影到分割平面上，对图案进行分割；根据反投影坐标系，生成加工方需要的可加工文件。本发明不仅可以有效的减少传统方法中扫描振镜的移动次数，提高实际加工的效率；而且能够高效的分割出每个加工区域的图案，同时图案的精度得到保证。

著录项

公开/公告号CN110489778A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-22

原文格式PDF
申请/专利权人西安电子科技大学;
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申请/专利号CN201910588347.5
发明设计人李广鑫;于慧强;
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申请日2019-07-02
分类号
代理机构西安长和专利代理有限公司;
代理人肖志娟
地址 710071 陕西省西安市太白南路2号西安电子科技大学
入库时间 2024-02-19 16:25:12

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-12-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20190702

实质审查的生效
2019-11-22

公开

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