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X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度

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摘要

利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度不同的非晶碳氢薄膜,采用X射线反射法测量了非晶碳氢薄膜的密度和厚度.实验中分别采用曲线拟合法和周期估算法计算薄膜的厚度,两种方法测得的厚度平均差别为5.5%,一致性较好.利用X射线反射谱的临界角计算所得的7个样品的密度差别较小,在8%之内.

著录项

来源
《强激光与粒子束》 |2007年第8期|1317-1320|共4页
作者
张继成; 唐永建; 吴卫东;
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作者单位

中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
X射线反射法; 非晶碳氢薄膜; 密度; 厚度;

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