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钛膜的电解抛光技术研究

         

摘要

分析了硫酸、硝酸、氢氟酸;硫酸、乙酸、氢氟酸;乙醇、正丁醇、氯化锌、氯化铝;高氯酸、乙酸;硫酸、甲醇这5种不同电解液组成对钛薄膜表面粗糙度、表面形貌的影响,得出硫酸、甲醇混合溶液是一种较理想的电解液体系.设置合适的抛光电压、温度、时间、泵速等工艺参数,制备出了表面平整光滑,平均粗糙度小于30 nm的钛膜.分析了硫酸、甲醇电解液阳极电压与试样表面减薄速率的关系:试样的减薄速率开始随电压的升高而增大;当电压达到28~34 V时,减薄速率随电压变化很慢,当电压继续增大时,减薄速率又会迅速增大,金属膜继续溶解.

著录项

  • 来源
    《强激光与粒子束》 |2007年第9期|1479-1482|共4页
  • 作者单位

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    黄河科技学院,数理部,郑州,450063;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

    中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 O84.5;
  • 关键词

    电解液; 电解抛光; 钛膜; 表面粗糙度; 表面形貌;

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