菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计

著录项

• 来源
  《强激光与粒子束》 |2003年第2期|125-128|共4页
• 作者

  谭峭峰; 严瑛白; 金国藩; 邬敏贤; 徐端颐;

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• 作者单位

  清华大学,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;

  清华大学,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;

  清华大学,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;

  清华大学,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;

  清华大学,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光学仪器;
• 关键词

  菲涅耳区; 衍射光学器件; 束匀滑; 精细化设计;