用于CO2激光雷达微机控制系统的机械调节系统研制

机译：用于滴灌系统的微机械流量传感器的研制

机译：用于驱动动力学控制系统的微机械传感器

机译：导航系统和运动物体控制系统中使用的微机械设备的计量学特性

机译：基于8051微控制器的用于表面微机械的注射器泵控制系统

机译：用于应力测量的微机械传感器以及用于MEMS应用的自支撑薄膜的微机械研究。

机译：甲基化聚乙烯亚胺修饰的电容式微机械超声传感器用于测量混合物中的CO2和SO2

机译：3D有限元质量矩阵的研制，用于建模微机械惯性传感器数据及其组件的动态

机译：用于激光雷达测量污染物和风速的可调高压CO2激光器的研制

机译：用于控制微机械致动器的控制器，特别是用于微机械致动器的微机械致动器，控制系统，微机械系统以及控制微机械致动器的方法

机译：用于控制微机械致动器的控制器，用于控制微机械致动器的控制系统，微镜系统和用于驱动微机械致动器的方法

机译：用于控制微机械致动器的控制器，特别是微机电系统，控制系统，微机电系统以及用于控制微机械致动器的方法