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玻璃基集成光学器件研究进展

         

摘要

综述了玻璃基集成光学器件离子交换工艺的原理及技术现状,介绍了近年来我们在玻璃基光波导制作工艺方面的研究工作,并提出了研究工作面临的问题。

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