金属-无机半导体-金属光电探测器的研究进展

高琳华; 崔艳霞; 梁强兵; 刘艳珍; 李国辉; 范明明; 郝玉英

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金属-无机半导体-金属光电探测器的研究进展

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金属-半导体-金属光电探测器（MSM-PDs）本身固有的高速、高响应率、易集成等特性使其在光纤通信、传感、制导等多个领域受到广泛关注。文中围绕金属-无机半导体-金属光电探测器展开综述。首先介绍了MSM-PDs的基本结构,包含共面和垂直两种类型。紧接着,介绍了MSM-PDs具体的工作原理,除了常见的光电导型及肖特基型工作原理,还介绍了以金属作为吸光层的热载流子光电探测器的工作原理。随后,详细介绍了以GaAs、InGaAs、Si/Ge等无机材料作为半导体层的MSM-PDs在过去所取得的研究进展。此外,还介绍了利用金属微纳结构拓展较宽带隙半导体材料MSM-PDs在红外波段响应特性的研究进展。最后,总结全文并对MSM-PDs未来的发展做出了展望。

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来源
《红外与激光技术》 |2020年第8期|229-247|共19页
作者
高琳华; 崔艳霞; 梁强兵; 刘艳珍; 李国辉; 范明明; 郝玉英;
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作者单位

太原理工大学物理与光电工程学院新型传感与智能控制教育部重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类半导体光电器件;
关键词
金属-半导体-金属; 光电探测器; 肖特基; 红外; 金属微纳结构;

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