偏振干涉法测量晶体应力双折射精度分析

肖昊苏; 张运强; 范志刚; 李福巍; 潘国庆

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偏振干涉法测量晶体应力双折射精度分析

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为实现晶体材料应力双折射精确测量,提出了一种以偏振干涉法为基础的测量方法,采用楔形样品避免了样品厚度可能引起的测量错误。利用椭圆偏振光理论和琼斯矩阵,推导了检偏器旋转定位精度、四分之一波片相位偏差和待测样品方位角误差对测量结果——最小可探测光程差所引入误差的解析表达式。误差分析结果表明:检偏器旋转定位精度引入的光程差测量误差最大,检偏器旋转定位精度为10′时,引入的光程差测量误差为3.1nm;待测样品方位角误差引入的光程差测量误差居中,待测样品的方位角误差为1°时,引入的光程差测量误差为0.7nm;四分之一波片相位偏差引入的光程差测量误差最小,四分之一波片的相位偏差为1.5°时,引入的光程差测量误差仅为0.1nm。

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来源
《红外与激光技术》 |2011年第2期|271-276|共6页
作者
肖昊苏; 张运强; 范志刚; 李福巍; 潘国庆;
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作者单位

1. 哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心 2. 中国空空导弹研究院;

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正文语种 chi
中图分类 O734.2;
关键词
测量; 应力双折射; 偏振干涉法; 精度分析;

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