一种新结构介观压光型微加速度计

彭鹏; 温廷敦; 许丽萍

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一种新结构介观压光型微加速度计

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对镜像异质三周期光子晶体的研究理论表明,在实际应用范围内,透射率与光子晶体所受的轴向应力呈简单的线性关系。据此,设计一种能实现微梁直拉直压的加速度计,微梁很小很敏感,处于轴向直拉直压位置时,能极大提高结构的灵敏度和自由振动频率。以镜像异质三光子晶体替代以往的压敏电阻,只需检测其透射率,即可得出加速度大小。最后结果表明:当透射光强改变1酃时,该结构可以感知小于0.4mgn的加速度的变化,测量量程可达3.2gn。

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来源
《红外与激光技术》 |2014年第10期|3363-3367|共5页
作者
彭鹏; 温廷敦; 许丽萍;
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作者单位

1. 中北大学理学院 2. 中北大学电子测试技术国家重点实验室 3. 中北大学微米纳米技术研究中心;

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正文语种 chi
中图分类 TH824.4;
关键词
光子晶体; 透射率; 加速度计; 直拉直压; 灵敏度;

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