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一种新型介观压阻效应微加速度计

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摘要

一种新型介观压阻效应微加速度计，主要结构由键合基板、敏感质量块、支撑框体、共振隧穿器件、组合梁组成，共振隧穿器件由共振隧穿材料薄膜层、共振隧穿器件正极、共振隧穿器件负极组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成；以键合基板为载体，在键合基板上键合有支撑框体，支撑框体的四边中心位置处连接有组合梁，组合梁连接于敏感质量块的四边中心部位，另一侧与支撑框体相连，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成。共振隧穿材料薄膜层形成多势垒压敏结构，可使硅压阻器件的灵敏度提高1-2个数量级，根据本发明实施例的微加速度计，结构合理紧凑，检测方便，精度高，可靠性好，适合微型化，具有很强的抗横向作用。

著录项

  • 公开/公告号CN103364585A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-10-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中北大学;

    申请/专利号CN201310305527.0

  • 发明设计人 李孟委;王莉;李锡广;白晓晓;王琪;杜康;刘俊;郑伦贵;

    申请日2013-07-19

  • 分类号G01P15/12;

  • 代理机构北京金智普华知识产权代理有限公司;

  • 代理人巴晓艳

  • 地址 030051 山西省太原市学院路3号

  • 入库时间 2024-02-19 21:01:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-13

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01P15/12 申请公布日:20131023 申请日:20130719

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2013-11-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/12 申请日:20130719

    实质审查的生效

  • 2013-10-23

    公开

    公开

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