基于介观压阻效应的新型微陀螺仪结构设计与优化

李孟委; 刘俊; 刘韶轩; 杜康; 石云波

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基于介观压阻效应的新型微陀螺仪结构设计与优化

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介绍了介观压阻效应,其灵敏度比硅压阻效应高一个数量级.利用该效应作为高灵敏度器件,首次提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.利用ANSYS软件,对其结构性能进行仿真,分析了固有频率、振幅以及哥氏效应下敏感方向的位移等特性,提出了结构优化分析的方法.在哥氏效应等耦合作用下对该结构进行多参数优化设计,并得到优化结果.经过对结果进行比较和考量分析,结果证明:微陀螺仪的驱动频率和检测频率的差值由原来的217.83Hz增大到362.87Hz,微陀螺仪的工作带宽增大,同时质量块在Z方向的位移增大了0.3μm,从而使检测梁根部受到的应力也增大了1.7MPa,结构灵敏度提高了18%.

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来源
《测试技术学报》 |2009年第6期|519-525|共7页
作者
李孟委; 刘俊; 刘韶轩; 杜康; 石云波;
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作者单位

中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
介观压阻效应; 微机械陀螺; 结构优化;

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