以激光散射立体角分布测量表面横向形貌参数

曾焱; 李润华; 邓华秋

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以激光散射立体角分布测量表面横向形貌参数

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为了利用光学非接触方法测量表面横向形貌参数,从Beckmann-Kirchhoff标量散射理论出发,分析并得到了高斯粗糙表面激光散射能量的立体角分布特征与轮廓均方根斜率之间的关系。提出了散射光的两个特征值:经度及纬度辐射立体角密度矩,用以提取散射光能量立体角分布情况,并给出了利用数字图像信号在非傍轴远场条件下测量和计算特征值的方法。实验证明:给出的特征参数和测量方法能够得到激光散射立体角分布特征并可用于测量粗糙表面轮廓均方根斜率。

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来源
《红外与激光技术》 |2010年第1期|156-159|共4页
作者
曾焱; 李润华; 邓华秋;
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作者单位

华南理工大学理学院物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类表面光洁度（表面粗糙度）的测量及其量仪;
关键词
表面粗糙度; 轮廓均方根斜率; 非傍轴散射; 光能辐射密度; 辐射立体角密度矩;

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