极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究

张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍

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极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究

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为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度的误差源引入到干涉图中进行整体分析,得到干涉仪的检测精度及波面重复精度,为了验证双光纤相移点衍射干涉仪的切实可行性及理论分析结果的正确性,搭建了原理实验装置,对同一被检光学系统进行了512次测量,将其分成8组,最终8组测量的波面重复精度能够达到0.13 nm,优于λ/4000。

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来源
《红外与激光技术》 |2012年第12期|3384-3389|共6页
作者
张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍;
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作者单位

1. 东北电力大学理学院 2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类 TH744.3;
关键词
光学检测; 双光纤相移点衍射干涉仪; 精度分析; 波面重复精度;

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