10μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器研制进展

祁娇娇; 冯晓宇; 陈彦冠; 宁提; 刘世光; 孙浩; 康键

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随着红外技术的进步,红外探测器组件向着更小尺寸、更高分辨率的方向发展。小像元间距、大面阵规格是长波探测器发展的重要方向。通过对10 m像元间距、9 m截止波长、1280×1024阵列规格长波探测器的研究,突破了10 m间距长波像元成结技术、10 m像元间距铟柱制备及互连技术,制备了有效像元率大于等于99.4%、非均匀性小于等于4%的10 m间距长波1280×1024碲镉汞探测器芯片。

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来源
《红外》 |2022年第2期|1-6|共6页
作者
祁娇娇; 冯晓宇; 陈彦冠; 宁提; 刘世光; 孙浩; 康键;
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作者单位

华北光电技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
小间距; 1280×1024; 长波; 碲镉汞;

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