基于共振隧穿微结构的GaAs基加速度计

李旭; 秦丽; 张斌珍; 胡杰

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基于共振隧穿微结构的GaAs基加速度计

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介绍了一种基于共振隧穿微结构的GaAs基四梁式加速度计,设计了共振隧穿微结构以及GaAs基加速度计的结构,分析了加速度计的力学特性,讨论了加速度计的加工工艺,并利用该工艺在国内首次制作出加速度计.在分析了串联电阻的影响后,设计了加速度计的输出信号提取电路,并通过实验测试了该加速度计的线性度和灵敏度.结果表明:该加速度计的输出具有较好的线性度,而灵敏度比硅材料的最大压阻灵敏度高一个数量级,适合于高精度测试场合.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2007年第11期|7-8,17|共3页
作者
李旭; 秦丽; 张斌珍; 胡杰;
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作者单位

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原,030051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.23;TH824.4;
关键词
共振隧穿微结构; 加速度计; GaAs;

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