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戴学斐;
瑞士奇石乐仪器公司北京代表处;
静态响应; 电容式; 加速度计;
机译:用于静态和低频测量的电容式加速度计
机译:基于微机电系统(MEMS)基于电容式加速度计的麦克风,具有增强的灵敏度,可实现完全植入的助听器:一种新的分析方法
机译:采用纳米间隙倾斜电极设计的,具有高动态范围和宽带宽的低压晶圆级封装电容式加速度计
机译:静态特性下降非线性电容式加速度计的测量
机译:具有漂移补偿的高动态范围CMOS-MEMS电容式加速度计阵列
机译:高精度电容式MEMS加速度计中减轻粘结引起的翘曲的温度梯度方法
机译:批量微机械电容式伺服加速度计
机译:微加工电容式横向加速度计装置和具有该装置的整体式三轴加速度计
机译:微加工电容式侧向加速度计和单相,三轴加速度计具有相同的功能
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