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大片玻璃孔加工方法的实验研究

         

摘要

本文针对扩散硅压力传感器在生产中,大片静电封接对大片玻璃钻孔的要求,提出了高效玻璃钻孔的新方法-超声波多工具钻孔;并通过实验,对该方法在加工过程中所具有特性进行了重点研究;同时,阐述了该方法对传感器生产的适用性;指出了该方法在实际生产中应用所需解决的技术关键。

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