硅微半球陀螺频率裂解修调工艺规律仿真分析

著录项

• 来源
  《仪表技术与传感器》 |2021年第3期|4-8|共5页
• 作者

  胡友旺; 钟宏民; 孙小燕; 段吉安; 庄须叶;

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• 作者单位

  高性能复杂制造国家重点实验室 中南大学机电工程学院 湖南长沙 410083;

  高性能复杂制造国家重点实验室 中南大学机电工程学院 湖南长沙 410083;

  高性能复杂制造国家重点实验室 中南大学机电工程学院 湖南长沙 410083;

  高性能复杂制造国家重点实验室 中南大学机电工程学院 湖南长沙 410083;

  华东光电集成器件研究所 安徽蚌埠 233042;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TP216;
• 关键词

  微半球陀螺; 频率裂解; 固有频率; 修调; 微孔; 仿真分析;