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Cu块材及Cu膜的光学常数研究

     

摘要

用反射式动态椭圆偏振光谱技术对Cu块材、Cu薄膜及Cu厚膜的光学常数进行了测试分析.研究结果表明: 与Roberts块材、 Johnson厚膜数据相比,不同方法得到Cu的光学常数在谱线形状上基本相似,但在数值上存在一定差别;在波长为250~830nm范围内,Cu块材和膜的折射率n与消光系数k分别在0.1~1.5和1.5~5.0之间;随膜厚增加,n值增大,k值减小;厚膜的n、k值与块材的更为接近.同时讨论了光学常数与微结构的关系.

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