四端硅压力传感器的解析模型

丁浩; 樊进; 尹燕; 洪琪; 柯导明; 陈军宁

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四端硅压力传感器的解析模型

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利用正则摄动法,采用合理的边界条件,求解四端硅压力传感器二维电势的偏微分方程,得出了该传感器二维电势的解析表达式;并由此导出了随应力而变的最大输出电压的解析表达式,且给出了输出电压与器件尺寸的精确关系。该模型物理意义明确,参数提取方便,其计算结果与数值解、实验数据较好吻合,可以很方便地进行器件设计和模拟。

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来源
《安徽大学学报：自然科学版》 |2004年第5期|51-55|共5页
作者
丁浩; 樊进; 尹燕; 洪琪; 柯导明; 陈军宁;
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作者单位

安徽大学电子科学与技术学院;

中国科学技术大学电子工程和信息科学系;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
四端硅压力传感器; 解析模型; 正则摄动法; 解析表达式; 输出电压;

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