不同梳齿形状的微纳力测量装置研究

邹韶明

首页> 中文期刊> 《安庆师范学院学报（自然科学版）》 >不同梳齿形状的微纳力测量装置研究

不同梳齿形状的微纳力测量装置研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

梳齿电容是微电子机械系统中所广泛使用的结构,在微纳力测量装置中具有重要作用。针对微纳力测量装置中所使用的不同梳齿结构,利用数值模拟的方法,分析了不同形状梳齿作为微纳力测量装置时,在不同相对位置对微纳力测量结果的影响。研究结果表明,加载电压、梳齿相交长度以及梳齿间距偏移对不同梳齿形状的微纳力测量装置输出的影响明显不同,各梳齿形状输出微纳力的变化特性为微纳力测量装置的设计与制造提供了科学依据。

著录项

来源
《安庆师范学院学报（自然科学版）》 |2020年第2期|78-8092|共4页
作者
邹韶明;
展开▼
作者单位

安庆职业技术学院机电工程系安徽安庆246003;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
梳齿形状电容; 微纳力; 测量装置; 输出影响;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 不同梳齿形状的微纳力测量装置研究 [J] . 邹韶明 . 安庆师范大学学报：自然科学版 . 2020,第002期
2. 边缘效应对电容式叉指状微纳力测量装置的影响与分析 [J] . 徐立 ,王淑香 ,张卫卫 . 中国测试 . 2020,第S01期
3. 基于叉指状电容结构的微纳力测量装置 [J] . 徐立 ,李闯 ,郑培亮 . 自动化与信息工程 . 2018,第005期
4. 英国基于微纳机电系统的Gun-Hard惯性测量装置研究进展 [J] . 莫非 ,陈秦 . 科技创新导报 . 2013,第027期
5. 轴线偏移对微纳力测量结果的影响研究 [J] . 邹韶明 ,刘磊 . 安徽水利水电职业技术学院学报 . 2019,第004期
6. 微纳TATB颗粒形状的分形特征 [C] . 曾贵玉 ,聂福德 ,黄辉 . 中国颗粒学会第六届学术年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会 . 2008
7. 不同形状压头不同刻划方向微纳刻划BK7光学玻璃时的力学行为 [A] . 王炜 . 2020

不同梳齿形状的微纳力测量装置研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅