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一种用于微纳力测量的力源装置及其实现方法

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本发明提供了一种用于微纳力测量的力源装置及其实现方法，所述装置包括上基板、下基板、微纳力源阵列、弹性支撑结构、以及输出所述微纳力源阵列产生的标准微纳力值的输出探针；所述上基板通过所述弹性支撑结构与所述下基板连接，所述微纳力源阵列布设于所述上基板与所述下基板之间；所述微纳力源阵列包括若干个阵列模块，每一所述阵列模块由一组叉指电容构成，每一组所述叉指电容设于所述上基板与所述下基板之间；且每一所述阵列模块分别与电源相连接。本发明通过改进传统电容式微纳力源装置的结构，能够实现在低电压下输出宽量程、高精度微纳力值的力源。

著录项

公开/公告号CN111220309B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-21

原文格式PDF
申请/专利权人广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心);
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申请/专利号CN202010226605.8
发明设计人徐立;王淑香;郑培亮;李闯;李倩;童军杰;
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申请日2020-03-27
分类号
代理机构广州三环专利商标代理有限公司;
代理人郭浩辉
地址 510000 广东省广州市广园中路松柏东街30号
入库时间 2022-08-23 11:06:08

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-07-21

授权

授权
2020-06-26

实质审查的生效 IPC(主分类):G01L5/00 申请日:20200327

实质审查的生效
2020-06-02

公开

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