单电机驱动广义椭偏仪变角结构设计与实现

刘政杰; 薛鹏; 陈媛媛; 刘燕霖; 谢大洋; 张瑞

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单电机驱动广义椭偏仪变角结构设计与实现

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摘要

针对目前常见广义椭偏仪变角结构多采用双电机驱动,且存在结构复杂、变角后光路存在偏离等问题,论文提出一种单电机驱动广义椭偏仪新的变角结构。该结构采用固定起偏臂,利用同步齿轮传动单电机驱动方式使载物台和检偏臂同步旋转,实现椭偏仪多角度测量。在传统卧式结构广义椭偏仪变角结构基础上,设置样品载物台和检偏臂1∶2同步传动,并通过Inventor运动仿真验证了本结构的可行性。论文提出的单电机驱动变角结构变角后不仅维持了变角前后的准直,而且其整体结构简单,极大地优化了椭偏仪变角的复杂度,在广义椭偏仪工程化进程中有比较重要的应用价值。

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来源
《应用光学》 |2023年第3期|507-512|共6页
作者
刘政杰; 薛鹏; 陈媛媛; 刘燕霖; 谢大洋; 张瑞;
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作者单位

中北大学信息与通信工程学院;

中北大学电气与控制工程学院;

中北大学前沿交叉科学研究院;

山西省光电信息与仪器工程技术研究中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计;
关键词
单电机驱动; 广义椭偏仪; 变角结构; 同步齿轮; 穆勒矩阵;

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