太赫兹飞行时间测厚法在大气环境中的应用

龚五林; 李占锋; 刘泉澄; 邓琥; 武志翔

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太赫兹飞行时间测厚法在大气环境中的应用

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太赫兹飞行时间(terahertz time-of-flight,THz-TOF)法具有快速、无损、高精度等优点,是厚度检测领域的新型发展方向。然而大气环境中水蒸气对太赫兹波存在较强的吸收,限制了THz-TOF法在大气环境中的应用。分析了THz-TOF法中太赫兹波在大气环境中的传播机理;提出了一种基于吸收模型的水蒸气消除方法;以两种塑料板样品为对象开展了应用研究。通过和干燥环境中测量的结果进行对比,结果表明:该方法能够有效消除水蒸气的干扰,实现大气环境中材料厚度和折射率的准确测量。

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来源
《应用光学》 |2023年第4期|809-815|共7页
作者
龚五林; 李占锋; 刘泉澄; 邓琥; 武志翔;
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作者单位

西南科技大学制造科学与工程学院;

西南科技大学信息工程学院;

西南科技大学四川天府新区创新研究院;

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正文语种 chi
中图分类光电子技术的应用;工程光学;
关键词
太赫兹时域光谱; 飞行时间; 厚度测量; 大气环境;

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