多层膜优化设计方法

王洪昌; 王占山

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多层膜优化设计方法

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传统多层膜设计所用的全局寻优法的速度非常慢,有时还很难得到理想的膜系.根据Frensnel反射系数公式计算多层膜的反射率,利用单纯形法对软X射线和X射线波段多层膜进行调优,可在短时间内优化出最接近目标光学性能的多层膜膜系结构.计算了不同波长软X射线周期性多层膜的最高理论反射率.单纯形调优算法在保证优化结果与随机搜索法优化结果近似相同的基础上,使优化计算速度提高了十倍以上.同时还用单纯形调优法优化设计了X射线超反射镜,得到了非常理想的非周期膜系.

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来源
《应用光学》 |2005年第5期|50-53|共4页
作者
王洪昌; 王占山;
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作者单位

同济大学;

精密光学工程技术研究所物理系;

上海;

200092;

同济大学;

精密光学工程技术研究所物理系;

上海;

200092;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O484.41-32;
关键词
软X射线; X射线; 多层膜; 单纯形调优; 反射率;

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