前言
致谢
第一章.多层膜光栅的理论分析，制各和检测
§1-1引言
§1-2软X射线光学多层膜的研究进展
§1-3多层膜光栅及其衍射的理论推导
1-3.1多层膜振幅光栅的理论分析
1-3.2多层膜闪耀光栅的理论分析
§1-4多层膜光栅的制备与质量
§1-5闪耀光栅的制备和原子力显微镜检测
§1-6多层膜闪耀光栅的制备和原子力显微镜检测
§1-7应用于软X射线波段的多层膜-多层膜闪耀光栅单色器的设计
参考文献
第二章.TiN/TaN多层膜的结构，表面粗糙化与力学性能研究
§2-1.引言
§2-2.粗糙表面及界面的理论表征
2-2.1粗糙度表述粗糙表面的局限性
2-2.2薄膜粗糙表面的简单分形性质
2-2.3粗糙表面的多重分形性质
§2-3.薄膜粗糙表面的多重分形计算及多重分形谱的性质
§2-4.TiN/TaN多层膜的制备
§2-5.TiN/TaN多层膜的X射线衍射测量
§2-6.TiN/TaN多层膜的AFM表面形貌测量
§2-7.TiN/TaN多层膜的表面粗糙和多重分形分析
§2-8.TiN/TaN多层膜的微刻痕硬度测量
§2-9.TiN/TaN多层膜的微刻痕硬度与界面粗糙度的关系
参考文献
念硕期间发表的论文及其他相关工作目录
中国科学技术大学;
