用ZEMAX模拟五棱镜误差对平行度检测的影响

闫亚东; 何俊华; 仓玉萍; 陈良益

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用ZEMAX模拟五棱镜误差对平行度检测的影响

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介绍了用五棱镜法检测大口径光束平行度的原理.分析了五棱镜加工的角度误差及面形误差对检测结果的影响,得出了五棱镜角度误差不影响检测结果,2个折射面的面形误差对检测结果的影响较小,2个反射面的面形误差对检测结果影响最大的结论.介绍了选择五棱镜的方法和减小面形误差影响的方法.最后,给出了用五棱镜法检测单星模拟器出射光束平行度的应用实例.

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来源
《应用光学》 |2007年第5期|649-653|共5页
作者
闫亚东; 何俊华; 仓玉萍; 陈良益;
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作者单位

中国科学院西安光学精密机械研究所;

陕西;

西安;

710119;

中国科学院研究生院;

北京;

100039;

中国科学院西安光学精密机械研究所;

陕西;

西安;

710119;

中国科学院西安光学精密机械研究所;

陕西;

西安;

710119;

中国科学院研究生院;

北京;

100039;

中国科学院西安光学精密机械研究所;

陕西;

西安;

710119;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类几何光学;光学仪器;
关键词
五棱镜法; 平行度检测; ZEMAX模拟; 角度误差; 面形误差;

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