干涉测量圆柱外表面的误差分析

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• 来源
  《应用光学》 |2020年第5期|1005-1013|共9页
• 作者

  许帅; 韩森; 吴泉英; 张凌华; 王全召; 陈秋白; 王艳;

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• 作者单位

  苏州科技大学 江苏 苏州 215009;

  上海理工大学 上海 200093;

  苏州慧利仪器有限责任公司 江苏 苏州 215123;

  苏州科技大学 江苏 苏州 215009;

  上海理工大学 上海 200093;

  苏州维纳仪器有限责任公司 江苏 苏州 215123;

  苏州慧利仪器有限责任公司 江苏 苏州 215123;

  苏州慧利仪器有限责任公司 江苏 苏州 215123;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 测试、调整及其设备;干涉与衍射;
• 关键词

  干涉测量; 圆柱外表面; 一次性测量; 误差分析;