两镜反射系统自适应装调技术研究

左晓舟; 王章利; 赵金; 苏瑛; 杨海成; 惠刚阳; 刘伟光; 王中强

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为了满足两镜反射系统对光学元件高精度的装调、定位要求,以及系统工程化应用对可靠性与装调效率的要求,提出了一种基于人工神经网络(ANN)的自适应装调技术。基于矢量波像差理论分析两镜系统波像差与失调量的映射关系,在Keras框架下搭建ANN,并以非解析思路构建了自适应装调模型,开发了自适应装调装置,使失调次镜的平移调校精度优于2μm,倾斜调校精度优于2″,解决了算法设计与精度优化、反射镜组微应力固联等技术难题,并对某双抛无焦系统完成了自适应装调验证。试验结果表明:运用该装调技术,两镜反射系统装调后波像差优于λ/16、装调周期大幅缩短、装配可靠性通过环境试验考核,为该技术的工程化应用打下了基础。

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来源
《应用光学》 |2022年第4期|780-786|共7页
作者
左晓舟; 王章利; 赵金; 苏瑛; 杨海成; 惠刚阳; 刘伟光; 王中强;
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作者单位

西安应用光学研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试、调整及其设备;
关键词
两镜反射系统; 神经网络; 波像差; 装调;

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