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非晶超晶格多层膜的形成及其光学特性的研究

         

摘要

cqvip:介绍利用波长为193nm的ArF准分子激光的光化学反应,分解Si_2H_6和C_2H_2原料气体制备a-Si:H/a-Sic:H非晶超晶格多层膜以及讨论这种膜的量子尺寸效应,紫外吸收等光学特性.

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