基于微机械摆的全方位倾角传感器设计

胡腾飞; 张伟

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基于微机械摆的全方位倾角传感器设计

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微机械摆倾角传感器的内部敏感元件为“三明治”结构,当其随载体发生倾斜运动时,由于受到哥氏力效应的影响,中间层动极板以扭转梁为中心轴与上下层固定极板间距发生改变,从而引起电容发生改变.理想情况下其倾角检测的最大范围为±90°.在微机械摆倾角传感器的基础上,利用其输出信号特性,利用ADuc812单片机作为微控制器对倾角信号进行采样、AD转换,并研究了数字信号滤波的算法,采用中位值平均滤波和递推平均滤波的方法去除异常干扰噪声,优化平滑输出数字倾角信号对其信号进行解算实现单轴全方位(0 ～360°)姿态解算.

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来源
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》 |2018年第4期|92-96|共5页
作者
胡腾飞; 张伟;
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作者单位

北京信息科技大学传感技术中心,北京100192;

北京信息科技大学传感技术中心,北京100192;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
倾角测量; 全方位; 微机械硅摆; ADuc812单片机;

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