全光纤数字散斑干涉面内变形内窥测量

袁腾飞; 吴思进; 李伟仙

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全光纤数字散斑干涉面内变形内窥测量

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提出了一种全光纤内窥式数字散斑干涉面内变形测量方法,能够实现对深孔、空腔和被遮掩表面纯面内变形的精密测量.通过构建双光路对称照明的散斑干涉光路布局,以及设计光纤相移器,最终实现了一种稳定性高、抗干扰能力强的内窥式数字散斑干涉装置.实验装置实现了入口直径为40 mm的空腔内部面内变形直接测量,最大测试面积约为113 mm2.实验结果表明,将实验装置安装在普通的木质办公桌上进行测量,在有人为干扰的情况下,依然可以得到比较理想的实验结果,证明了所构建的全光纤内窥式数字散斑干涉装置具有较强的抗干扰能力.

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来源
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》 |2020年第5期|35-42|共8页
作者
袁腾飞; 吴思进; 李伟仙;
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作者单位

北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院北京100192;

北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院北京100192;

北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院北京100192;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类应用光学;
关键词
数字散斑干涉; 内窥测量; 光纤相移器; 面内变形; 全光纤;

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