在扫描电镜上实现STEM模式的一种方法及应用

周固; 陈晓波

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在扫描电子显微镜上实现STEM模式通常需要有一个扫描透射样品座和一个扫描透射信号的接收装置.本方法是在扫描电镜样品台上安装一个自行设计的安装薄样品的样品支架,利用扫描电镜内已有的二次电子检测器来检测扫描透射电子就可以实现STEM明场像的观察和X射线能谱分析.该方法不需要在扫描电镜里另外加装透射信号接收装置.

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来源
《北京师范大学学报：自然科学版》 |2013年第6期|578-581|共4页
作者
周固; 陈晓波;
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作者单位

北京师范大学分析测试中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子光学仪器;
关键词
扫描透射模式; 扫描电子显微镜; 方法; 样品支架;

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