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DCVD TiN形核长大机制的研究

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摘要

实验对TiN沉积膜和基体复层膜采用了透射电镜衍射及x射线衍射分析方法,确立了TiN晶体与基体各相的位向关系。即TiN在初始形核时,在钢基体母相与碳化物上呈多晶紊乱位向形核,以[200]择优取向长大,以此建立PCVD TiN沉积膜生长模型。

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来源
《北京工业大学学报》 |1988年第1期|73-78|共6页
作者
王大山; 宣崇武; 李伟全;
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作者单位

北京工业大学热处理教研室;

北京工业大学热处理教研室;

北京工业大学热处理教研室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
PCVD TiN; 形核长大机制; 多晶形核; 择优取向长大;

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