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介质钝化对铝薄膜温度分布的影响

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本文采用有限差分法,数值研究了具有介质钝化层的铝薄膜上的瞬态温度分布,着重研究了介质膜种类及厚度对这一分布的影响。结果指出,采用高热导率的Si3N4（或Al2O3）介质膜钝化,可以大幅度地降低铝薄膜的峰值温度及温度梯度。这对提高铝膜的电徙动寿命及抗电流浪涌能力是非常有益的。

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来源
《北京工业大学学报》 |1983年第2期|123-130|共8页
作者
高光渤; 桂翔;
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作者单位

北京工业大学;

北京工业大学;

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正文语种 chi
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