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用于空间的化学气相制备系统的气体计量和控制

         

摘要

空间环境下的材料气相制备是空间材料科学研究的一个重要课题.由于地面使用的气体质量流量计在空间面临可靠性和安全问题,难以用于空间条件下的气体控制.本文针对空间材料气相制备中的气体流量计量和控制问题进行了系统的研究.结果表明,通过对减压和节流阀的设计,能够实现空间环境下气体的计量和控制,其可靠性和安全性明显优于气体质量流量计,并得到了实验的验证.

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