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准分子激光均束系统的研究

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摘要

针对准分子激光的特点,利用透镜阵设计了一种准分子激光均束系统.其能量均匀度误差优于±5%,满足了准分子激光掩模投影加工和激光辐照的光束质量要求.

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来源
《长春理工大学学报（自然科学版）》 |2009年第2期|224-226|共3页
作者
刘雷; 马宏;
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作者单位

长春理工大学,光电工程学院,长春,130022;

长春理工大学,光电工程学院,长春,130022;

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正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
准分子激光; 透镜阵; 均束;

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