压氦法和预充氦法氦质谱细检漏固定方案的设计

著录项

• 来源
  《中国电子科学研究院学报》 |2013年第6期|656-660|共5页
• 作者

  王庚林; 李飞; 李宁博; 刘永敏;

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• 作者单位

  北京市科通电子继电器总厂有限公司,北京 100041;

  北京市科通电子继电器总厂有限公司,北京 100041;

  北京市科通电子继电器总厂有限公司,北京 100041;

  北京市科通电子继电器总厂有限公司,北京 100041;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 密封技术;
• 关键词

  氦质谱细检漏; 严密等级ΤHemin; 最长候检时间; 压氦法固定方案; 预充氦法固定方案; 去除吸附氦;