钛酸钡陶瓷膜形成过程的AFM研究

翟学良; 杨芙丽; 李纪标; 周鸿娟

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@@ 高介电薄膜材料由于具有较高的电荷存储能力而作为集成电路上的芯片电容,可减少集成电路上电容所占面积,提高电路集成效率,因而日益受到人们的关注,BaTiO3薄膜即是重要的薄膜材料之一.本文作者采用溶胶-凝胶甩膜法制备钛酸钡系薄膜,并通过原子力显微镜(AFM)考察制备过程中薄膜的微观形态变化及钛酸钡的结晶习性.

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来源
《电子显微学报》 |2004年第4期|429-429|共1页
作者
翟学良; 杨芙丽; 李纪标; 周鸿娟;
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作者单位

河北师范大学实验中心,河北,石家庄,050016;

河北师范大学实验中心,河北,石家庄,050016;

河北师范大学实验中心,河北,石家庄,050016;

河北师范大学实验中心,河北,石家庄,050016;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类工程材料学;化学;
关键词
钛酸钡陶瓷膜; 原子力显微镜; 薄膜晶体结构; 高介电薄膜材料; 显微结构分析;

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