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预处理对不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的影响

         

摘要

类金刚石碳(diamond-like carbon,DLC)薄膜具有非常优异的力学、电学、光学等性能,因此在许多领域有着巨大的应用前景,在世界范围内形成了研究类金刚石碳薄膜的热潮。但目前在铁质材料上沉积类金刚石碳薄膜存在一个很大的问题:由于铁对碳氢化合物的分解及石墨相的形成有很强的催化作用,降低了薄膜的各项性能。

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