低噪声原子力显微镜测量单元设计

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• 来源
  《电子显微学报》 |2021年第2期|138-143|共6页
• 作者

  许军; 温焕飞; 马宗敏; 金晨; 牛刘敏; 董诚; 王慧云; 王旭东; 董震; 孔融智; 秦丽;

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• 作者单位

  中北大学电子测试技术重点实验室 山西 太原030051;

  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

  中北大学电子测试技术重点实验室 山西 太原030051;

  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

  中北大学电子测试技术重点实验室 山西 太原030051;

  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

  中北大学电子测试技术重点实验室 山西 太原030051;

  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

  中北大学电子测试技术重点实验室 山西 太原030051;

  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

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  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

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  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

  中北大学电子测试技术重点实验室 山西 太原030051;

  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

  中北大学电子测试技术重点实验室 山西 太原030051;

  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

  中北大学电子测试技术重点实验室 山西 太原030051;

  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

  中北大学电子测试技术重点实验室 山西 太原030051;

  中北大学仪器与电子学院 山西 太原030051;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光学计量仪器;显微镜;
• 关键词

  非接触式原子力显微镜(NC-AFM); 光偏转检测; 噪声溯源抑制; 主动隔振; 低噪声;