二次离子质谱仪中二次中性粒子空间分布研究

王培智; 田地; 龙涛; 王利; 包泽民; 邱春玲; 刘敦一

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为提高二次离子质谱仪(secondary ion mass spectrometer,SIMS)的灵敏度,引入了飞秒激光电离一次离子轰击溅射产生的二次中性粒子.实验以纯银、纯铜为目标样品,利用自主研制的飞行时间质谱仪分析二次后电离的离子,研究二次中性粒子的后电离效率和空间分布.结果表明:飞秒激光电离技术可将仪器的灵敏度提高70倍以上;飞秒激光电离出的107Ag+和109Ag+的同位素丰度比值误差为0.8％;二次中性粒子的空间分布符合Maxwell-Boltzmann模型.该结果可为在设计方法上提高SIMS仪器灵敏度提供依据.

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来源
《质谱学报》 |2016年第3期|222-228|共7页
作者
王培智; 田地; 龙涛; 王利; 包泽民; 邱春玲; 刘敦一;
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作者单位

吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林长春 130021;

吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林长春 130021;

中国地质科学院地质研究所,北京离子探针中心,北京 100037;

大连民族大学,辽宁大连 116600;

吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林长春 130021;

吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林长春 130021;

中国地质科学院地质研究所,北京离子探针中心,北京 100037;

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正文语种 chi
中图分类质谱分析;
关键词
二次离子质谱(SIMS); 飞秒激光后电离; 中性粒子;

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